Guillaume LOMBARDI

Professeur

• Développement de procédés plasmas notamment micro-ondes pour le dépôt et la gravure de matériaux (carbonés, nitrures, métaux)
• Etude des interactions plasma-surface
• Etude des plasmas poussiéreux
• Diagnostic optique des plasmas (OES, laser UV, vis et IR)

Laboratoire des Sciences des Procédés et des Matériaux 

LSPM
Institut Galilée
99 avenue Jean-Baptiste Clément
93430 Villetaneuse
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