OPTIMIST

Le projet OPTIMIST (Ouverture d’une PlaTe-forme d’Investigation des Mécanismes d’Interaction plasma-Surface sur une large gamme de Température) a été proposé par C. Cardinaud et installé à l’institut des matériaux Jean Rouxel de Nantes.

Il vise à offrir, à la communauté des Plasmas Froids, un système d’étude et de caractérisation des mécanismes d’interaction Plasma-Surface multifonctionnelle.

Ce projet, mis en œuvre par l’IMN en partenariat avec le GREMI a été financé par la MRCT (Cortech2004 & Cortech2008) et ces deux laboratoires.

Le réacteur plasma est constitué d’une source rf (TCP) et 3 lignes de gaz sont actuellement installées (SF6, Ar, O2), (tous gaz, sauf corrosifs ou toxiques, peuvent actuellement être utilisés). Le substrat est polarisé et thermalisé. Une canne de transfert sous vide permet de transférer les échantillons à température contrôlée du réacteur plasma vers l’appareillage d’analyse des surfaces “ESCA-Leybold” de l’IMN. La particularité d’OPTIMIST réside dans son porte-échantillon polarisable en dc ou rf et contrôlé en température de -150 à +1100°C.

La plate-forme est ouverte pour des campagnes de manip de 1 à 2 semaines.

Un atelier sur ce sujet s’est déroulé à Nantes au deuxième semestre 2006.
Poster de présentation du projet OPTIMIST (présenté aux Journées du réseau à Bonascre en 2004).

Description de la plateforme OPTIMIST

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