Visualisation in situ au microscope électronique à résolution atomique de l’effet d’un plasma ECR sur les surfaces de nano-objets

Jean-Luc MAURICE (Laboratoire de physique des interfaces et couches minces – LPICM, Institut Polytechnique de Paris)

Ce webséminaire aura lieu en direct le 26 Novembre 2021 à 14h00.

L’exposé montre des exemples de l’effet d’atomes d’hydrogène – produits au sein d’un plasma – sur les mécanismes de mouillage et de croissance de nanoobjets. Il s’agit d’expériences menées in situ, dans le microscope électronique en transmission environnemental « NanoMAX », au centre interdisciplinaire de microscopie électronique de l’École polytechnique (CIMEX). Grâce à son pompage différentiel, cet appareil tolère la présence de gaz dans la chambre objet jusqu’à des pressions de l’ordre du mbar. La ligne d’alimentation en hydrogène a été équipée d’un générateur de plasma par résonance cyclotron (ECR), qui permet d’apporter les atomes d’hydrogène à l’échantillon en cours d’observation à l’échelle atomique. La présentation expose et discute plusieurs exemples de l’effet de ces atomes, à des températures comprises entre 200 et 500°C, comme le démouillage de gouttelettes d’étain sur Si et SiC, le démarrage et l’arrêt de la croissance de nanofils de Si quand on allume puis éteint le plasma (alors que le SiH4 nécessaire à la croissance est fourni par une autre ligne).

POUR LE DIRECT:

ID de réunion : 817 2258 1770

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