Sonde UI pour plasma RF

Le réseau plasmas froids propose une sonde pour des mesures électriques sur des plasma RF.

La sonde proposée est l’Octiv VI. Elle permet de mesurer les formes d’onde V(t) et I(t) dans les systèmes plasma et ce jusqu’à 32 fréquences et jusqu’à 5 formes d’onde indépendantes.

Elle a une fonctionnalité en mode pulsé et elle permet des mesures de flux ionique sur wafer.

Des informations supplémentaires sont disponibles sur le site de Impedans : https://impedans.com/octiv-suite-20-vi-probe

Informations pour la réservation de l’outil

Ce formulaire ne doit être complété qu’après avoir pris contact avec le gestionnaire de l’outil pour vous assurer de sa disponibilité.

Pour toute demande d’utilisation, merci de lire la charte d’utilisation (annexe_charte) et de remplir le formulaire de demande en ligne ci-dessous, en joignant ce fichier complété.

    Reservez cet outil


    Contact du gestionnaire de l’outil