Sonde UI pour plasma RF

Le réseau plasmas froids propose une sonde pour des mesures électriques sur des plasma RF.

La sonde proposée est l’Octiv VI. Elle permet de mesurer les formes d’onde V(t) et I(t) dans les systèmes plasma et ce jusqu’à 32 fréquences et jusqu’à 5 formes d’onde indépendantes.

Elle a une fonctionnalité en mode pulsé et elle permet des mesures de flux ionique sur wafer.

Des informations supplémentaires sont disponibles sur le site de Impedans : https://impedans.com/octiv-suite-20-vi-probe

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